真空泵是未來(lái)職業(yè)開(kāi)展的趨勢(shì)，盡管現(xiàn)在還沒(méi)有運(yùn)用，除了價(jià)格偏高之外，還有羅茨真空泵用戶不到位，看不到經(jīng)濟(jì)效益帶來(lái)的企業(yè)，有了這些不同類型的羅茨真空泵，咱們一向都在巴望能夠減小其物理尺度。但是，這與真空泵的抽氣速度相對(duì)立，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的體積成份額。
　　小的物理尺度意味著音量也很小。當(dāng)然，影響真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度共同，需求進(jìn)步速度。而要改動(dòng)真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種辦法，一種是改動(dòng)電源的頻率，即運(yùn)用變頻器；二是改動(dòng)變速箱的份額。
　　其間，運(yùn)用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是能夠供給一個(gè)閉環(huán)操控，但簡(jiǎn)單導(dǎo)致重載下的轉(zhuǎn)矩丟失。改動(dòng)齒輪箱的齒輪比是一個(gè)十分經(jīng)濟(jì)的辦法，當(dāng)然它只能供給單一的速度不能被操控，現(xiàn)在，你能夠看到羅茨真空泵有這么多不同的規(guī)劃，各有各的特色和優(yōu)缺點(diǎn)。
　　運(yùn)用本錢一向是影響人們挑選真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到，真空泵的穩(wěn)定性也應(yīng)該被考慮在內(nèi)。因?yàn)檎婵毡靡馔忮e(cuò)誤解形成機(jī)器運(yùn)用功率下降，影響晶圓的出產(chǎn)和交貨，乃至形成晶圓廢料和其他零件的加工損壞。